Physik Instrumente位移臺
負載容量達1000 公斤
重復精度達±0.5 微米
設計可改變：尺寸、行程和負載
速度達50 毫米/秒
行程達340 毫米/60度
帶制動器的驅動器：無刷電機
Physik Instrumente位移臺
納米定位壓電彎曲平臺
微型舞臺
線性平臺
線性執(zhí)行器
旋轉臺
XY平臺
PI的多軸壓電撓性位移臺允許在多達6個軸上以亞納米精度進行定位和掃描，包括尖端，傾斜和偏航運動。版本范圍從緊湊的立方體設計到大孔徑和薄型。
XYZ掃描儀是定位技術的工具。應用包括樣品調整，技術，光學計量，光纖定位和光子學以及原子力顯微鏡。
所有壓電納米定位系統(tǒng)均已在工廠校準，并隨測量記錄一起提供。
P-733.3 XYZ壓電納米定位器
應用領域
掃描顯微鏡
共聚焦顯微鏡
掩膜/晶圓定位
表面測量技術
納米壓印
顯微操作
圖像處理/穩(wěn)定
納米定位具有很高的平面度和運動平直度
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機械和控制器可以根據需要進行組合并快速更換。所有伺服和線性化參數都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數字控制器的自動校準功能都會使用此數據。
適用于復雜的真空應用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實現極低的除氣率。
PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長
獲得利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導軌，導向精度高
撓性導板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內工作。
平行位置測量，在納米范圍內具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個固定參考為參考?？梢詫崟r（取決于帶寬）主動補償（主動引導）軸之間的不良串擾。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內實現高跟蹤精度。
Physik Instrumente（PI） P-733.3CD
Physik Instrumente（PI）P-733.3CL
Physik Instrumente（PI）P-733.3DD
應用領域：
六腳架支持工業(yè)機器人
科學儀器
半導體技術
顯微鏡檢查
硅光子學
醫(yī)療技術
材料研究
機械工業(yè)
更多其他產品的型號如下
Physik Instrumente M-235.5DG
Physik Instrumente FH430A69-05+197
Physik Instrumente S-330.2SH
Physik Instrumente PI E-727.3SDA
Physik Instrumente PI E-727.3SD
Physik Instrumente P-561.3CD
Physik Instrumente E-727.3CD
Physik Instrumente P-562.6CD
Physik Instrumente E-712.6CD
Physik Instrumente S-330.2SL
Physik Instrumente E-501.00
Physik Instrumente E-503.00S
Physik Instrumente E-509.S3
Physik Instrumente E-518.I3
Physik Instrumente P-616.3C
Physik Instrumente E-727.3CD
Physik Instrumente E-873.1AT
Physik Instrumente H-825.D2A
Physik Instrumente C-887.52
Physik Instrumente E-841.55
Physik Instrumente E-831.05
Physik Instrumente E-841.55
Physik Instrumente N-565.160
客服熱線：
