INFICON分析器

INFICON分析器

名稱： INFICON Analyser

型號: TRANSPECTOR MPH

品牌: INFICON

產(chǎn)地：瑞士

 

INFICON是創(chuàng)新儀器、關(guān)鍵傳感器技術(shù)和智能制造/工業(yè)4.0軟件解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商，可提高工具、流程和整個(gè)工廠的生產(chǎn)力和質(zhì)量。這些分析、測量和控制產(chǎn)品對于檢測空調(diào)/制冷和汽車制造中的氣體泄漏至關(guān)重要。在光學(xué)設(shè)備、平板顯示器、太陽能電池和工業(yè)真空鍍膜應(yīng)用的半導(dǎo)體和薄膜涂層的復(fù)雜制造過程中，它們對設(shè)備制造商和終端用戶至關(guān)重要。

 

 

1.瑞士INFICON分析儀 產(chǎn)品說明

硅片價(jià)格的上漲和對成品的需求意味著廢舊硅片的成本比以往更高。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)旨在為您的所有氣體分析應(yīng)用提供行業(yè)領(lǐng)先的性能，以最大限度地提高晶圓產(chǎn)量和減少工具停機(jī)時(shí)間。Transpector MPH 具有較低的總擁有成本和較高的平均故障間隔時(shí)間，與市場上任何其他殘余氣體分析儀 (RGA) 相比，它可以幫助您實(shí)現(xiàn)更多的利潤。INFICON 利用其在氣體分析和過程控制方面的專業(yè)知識，開發(fā)出具有行業(yè)領(lǐng)先的數(shù)據(jù)采集速度、最小可檢測分壓和信噪比的 RGA。所有這些都不會影響您對 INFICON Transpector 氣體分析儀所期望的可靠性。

 

2. INFICON分析儀在瑞士的產(chǎn)品概述

Transpector MPS通過監(jiān)測過程條件、檢測雜質(zhì)和檢查泄漏，幫助您優(yōu)化過程。Transpector MPS為客戶提供Transpector的強(qiáng)大功能 Transpector MPS有100 amu和200 amu兩種型號，可讓您靈活地執(zhí)行各種功能，如常規(guī)泄漏檢測、真空診斷和烴類分析。這種多功能性使 Transpector MPS 成為真空爐、熱處理和真空鍍膜應(yīng)用中的首選傳感器。

 

3. INFICON分析儀的瑞士產(chǎn)品特點(diǎn)

新的 Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀 (RGA) 提供行業(yè)領(lǐng)先的測量速度，以監(jiān)測和控制現(xiàn)代半導(dǎo)體和顯示器制造所需的快速過程變化。Transpector XPR 3+是一款成熟的四極和雙離子源傳感器，適用于濺射壓力應(yīng)用，與周期性的回轉(zhuǎn)率測量相比，它的產(chǎn)品保護(hù)性能要好得多。無壓轉(zhuǎn)換設(shè)備、耐用部件以及快速檢測和診斷問題的能力相結(jié)合，使工具的可用性、產(chǎn)品產(chǎn)量和產(chǎn)量最大化。Transpector XPR 3+雙離子源室旨在限制涂層，以保持離子源的靈敏度，并延長傳感器的平均維護(hù)時(shí)間。

瑞士INFICON分析器 瑞士INFICON分析器

4，瑞士 INFICON 分析儀產(chǎn)品原理

十多年來，INFICON Transpector CPM一直是半導(dǎo)體行業(yè)過程監(jiān)控的殘余氣體分析儀（RGA）的市場領(lǐng)導(dǎo)者。Transpector CPM 3 是理想的 RGA 過程監(jiān)控器，適用于新的和成熟的半導(dǎo)體過程，如 ALD、CVD、PVD 和蝕刻。INFICON 提供 Transpector CPM 3，這是一個(gè)成熟的泵和入口系統(tǒng)，帶有新的傳感器和電子設(shè)備。Transpector® 單一壓力采樣 (SPS) 殘余氣體分析儀在目標(biāo)高壓過程中為晶圓半成品和顯示面板提供最佳保護(hù)。Transpector SPS 通過在單一壓力下對氣體泄漏和工藝污染進(jìn)行最靈敏的檢測，最大限度地減少了晶圓和面板的廢品。Transpector SPS 為穩(wěn)定的高壓過程提供最可靠的過程監(jiān)控，從而最大限度地提高過程吞吐量和產(chǎn)量。

 

5.瑞士INFICON分析儀的產(chǎn)品優(yōu)勢

這些儀器結(jié)合了一個(gè)簡單和具有成本效益的進(jìn)口系統(tǒng)，以及一個(gè)經(jīng)過現(xiàn)場驗(yàn)證的離子源和泵組，提供了一個(gè)低風(fēng)險(xiǎn)和有價(jià)值的氣體分析解決方案。Transpector SPS 適用于一般真空和工業(yè)應(yīng)用，是冶金和熱處理應(yīng)用（如真空電弧重熔 (VAR)）的成熟解決方案。標(biāo)準(zhǔn)孔口、毛細(xì)管和旁通管的組合可用于從1E-4 Torr到大氣壓的采樣過程壓力。耐腐蝕的入口，離子源