Bronkhorst氣體流量控制器EL-FLOW Select系列用于清潔和干燥氣體

 

用于清潔和干燥氣體的實(shí)驗(yàn)室式質(zhì)量流量儀器?？蛇x的有用于半導(dǎo)體市場和其他高純氣體的金屬密封儀器

準(zhǔn)確性：提供高精度的旁路傳感器，優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性，以及快速響應(yīng)。

Bronkhorst 氣體流量控制器 EL-FLOW Select 是一款高性能的氣體流量控制設(shè)備?；跓醾鲗?dǎo)原理，通過測量氣體對加熱元件和溫度傳感器之間熱量傳遞的影響來確定氣體的質(zhì)量流量。當(dāng)氣體流過傳感器時(shí)，帶走加熱元件的熱量，導(dǎo)致溫度傳感器檢測到溫度變化，根據(jù)這種變化與氣體流量的關(guān)系計(jì)算出氣體的質(zhì)量流量。內(nèi)置的微處理器將測量得到的實(shí)際流量值與設(shè)定值進(jìn)行比較，根據(jù)偏差信號控制精密的控制閥，調(diào)節(jié)氣體流量，使實(shí)際流量不斷趨近于設(shè)定值，實(shí)現(xiàn)精確的流量控制。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

高精度測量與控制：采用先進(jìn)的熱式質(zhì)量流量傳感器和精密控制閥，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的氣體流量測量和控制，精度可達(dá) ±0.5% rd plus ±0.1% fs，重復(fù)精度優(yōu)于 ±0.2% rd。

快速響應(yīng)：EL-FLOW Select 系列的響應(yīng)速度非?？?，一般在 2-4 秒內(nèi)即可完成從一個(gè)流量值到另一個(gè)流量值的穩(wěn)定調(diào)節(jié)，能夠滿足快速變化的流量控制需求。

寬流量范圍：涵蓋了從 0.014 mln/min 到 1670 ln/min 的廣泛流量范圍，可滿足不同應(yīng)用場景對氣體流量的需求。

多氣體兼容性：可以存儲最多 8 條校準(zhǔn)曲線，實(shí)現(xiàn)對多種不同氣體的精確測量和控制，用戶可根據(jù)實(shí)際使用的氣體種類選擇相應(yīng)的校準(zhǔn)曲線。

壓力和溫度獨(dú)立性：具有出色的壓力和溫度穩(wěn)定性，壓力敏感性小于 0.1% rd/bar（典型 N?），溫度敏感性小于 0.05% fs/°C（零點(diǎn)）和 0.05% rd/°C（量程），在不同的壓力和溫度條件下仍能保持高精度的流量控制。

多種通信接口：除了標(biāo)準(zhǔn)的 RS232 通信接口外，還可選配 CANopen、DeviceNet、EtherCAT、Profibus DP、Profinet、Modbus RTU、ASCII over TCP/IP、Ethernet/IP、Powerlink 或 Flow-bus 等通信接口，方便與各種自動(dòng)化控制系統(tǒng)集成。

技術(shù)參數(shù)

工作溫度范圍：-10℃至 + 70℃。

壓力等級：可達(dá) 100 bar abs，部分型號如 F-201CV 為 64 bar abs。

過程連接：可選擇壓縮式或面密封（VCR/VCO）接頭。

電源供應(yīng)：+15…24 VDC，不同接口下的最大功耗有所不同。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)：用于半導(dǎo)體制造過程中的氣體流量控制，如化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、刻蝕等工藝，確保精確的氣體配比和流量控制，提高半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和一致性。

化學(xué)工業(yè)：在化學(xué)反應(yīng)過程中，精確控制各種反應(yīng)氣體的流量，有助于優(yōu)化反應(yīng)條件，提高反應(yīng)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，同時(shí)確保生產(chǎn)過程的安全性。

制藥行業(yè)：在制藥過程中的氣體滅菌、藥品包裝等環(huán)節(jié)，需要精確控制氣體流量，以保證藥品的質(zhì)量和安全性。

科研領(lǐng)域：在高校、科研機(jī)構(gòu)的實(shí)驗(yàn)室中，用于各種氣體相關(guān)的實(shí)驗(yàn)研究，如材料科學(xué)、化學(xué)工程、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)，為科研人員提供精確的氣體流量控制。

 

常見型號

F-100D

F-101D

F-101E

F-102D

F-102E

F-103D

F-103E

F-110C

F-111AC型

F-111B型